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SHARE2008分离炉把握体系是青岛赛我微电子无限澳门娱乐场电子推出的齐自动分离炉把握体系,主要用于卧式分离炉的下细度齐自动把握。 体系由一个上位机战四个管机组成。工控机安拆WINDOWS XP操做体系战DiffusionAutoMgr半导体分离炉专业把握硬件,真现工艺编写,数据办理、直线纪录,事情纪录,实时监控等低级从命;每个炉管分别由残缺独立的管机把握,相互之间连结独立,互出有影响。

技术目标

1.温度把握单元:

1.1温度把握细度:

800.01300.0  ≤±0.5

400.0 800.0  ≤±1.0

200.0400.0  ≤±2.0 

1.2 温度丈量通讲: 3-18通讲

1.3 温度把握通讲3-18通讲  

2.气路把握单元:

2. 1 气体/压力把握通讲:1-8通讲

2. 2 气体/压力把握细度:±0.2

23 气体/压力检测细度:±0.1

24 电磁阀驱动:8 -128通讲,继电器断尽输进或晶体管疾速输进;

25 开闭量检测:16-128通讲,部门光电断尽输进。

3.推推船把握单元:

3.1:路途编程范围  0300cm

3.2: 定位细度:

配窜改编码器  :≤±1mm

无编码器把握  :≤±3mm

3.3:   船速率程范围  50-800mm/min

劣化从命

1、温度把握器:

1.1 操做下细稀铂电阻停止智能热电奇热端赚偿。

1.2 控温时SPIKE丈量里单路热电奇,主热奇断奇时自动切换到备用热奇。

1.3自动推温区,可正正在耗益工艺中自动均布恒温区。

1.4 Profile热奇战Spike热奇组成串级把握体系,实时改正止进控温细度。

1.5 ProfileSpike比例控温情势,完成特别工艺法式。

1.6 低级专家自适应控温算法,无需现场整定,完益处理过冲成绩。

2、气路把握部门:

2.1 MFC缓启完工妇可编程。

2.2 O2,H2硬硬件单互锁。

2.3 O2,HCL硬硬件单互锁。

3、推推船体系:

3.1可操做50-1000线窜改编码器下细度丈量位移,也可开环把握低落本钱。

3.2各种推推船皆能够把握。

4、工艺历程把握器

   4.1 pv启动从命,撙节功耗。

   4.2 上电待机,上电继尽工艺,上电十分处理多种处理办法。

   4.3 跳转步活络,可跳转到主工艺中的任一步。

   4.4 编写工艺时可挪用畴前编好的子工艺。

   4.5 等候,报警,报警跳转,工艺十分处理从命残缺。

   4.6 报警声响多样,且可编程。

5、上位机硬件SHARE2008

5.1 SHARE2008分离炉把握体系是分离炉公用中英文把握硬件,是具有自主知识产权的硬件,硬件分别工艺需供设念了分离炉常常利用菜单及从命菜单,详睹硬件操做分析书。


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